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학술대회자료
저자정보
백상준 (중앙대학교) 윤기봉 (중앙대학교) 배재현 (중앙대학교) 이성중 (삼일프론테크)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 재료 및 파괴부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
89 - 89 (1page)

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길이가 짧은 Duct Pipe는 반도체 산업 등에서 많이 사용되는 설비 요소 중 하나이다. Duct Pipe는 서로 간의 체결을 위해 Pipe Flange 사이에 기밀유지를 위한 Gasket을 설치하고 볼트로 체결하여 내부 공정 가스 들이 누출되지 않도록 방지한다. 따라서 Pipe Flange 체결 시 누출을 효과적으로 방지하여야 하며 Gasket 이 압축 파손되지 않게 하여야 하는 문제가 제기되고 있다.
본 연구에서는 2 가지 서로 다른 설계 조건의 PFC Duct Pipe, Angle Flange 및 Gasket 구성에 대해 기밀성능을 비교하였다. ANSYS를 사용하여 3D 유한요소 해석을 수행하여 Gasket의 기밀 성능을 비교 및 평가하였다. 동일한 Flange 재질과^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10584319');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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