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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,404 - 1,405 (2page)

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Transparent ZnO thin films were deposited on quartz substrates by a KrF pulsed laser deposition (PLD) technique with different process conditions such as substrate temperature (Ts) and oxygen ambient pressure (pO₂). Surface morphology, crystal structure, and electrical properties of the ZnO films were investigated in or^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01344822');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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