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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2007 대한전기학회 전기물성·응용부문회 Techno-Fair 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.11
수록면
94 - 95 (2page)

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We have observed electrical properties of ZnO thin films for the fabrication of transparent thin film transistor. ZnO thin films were deposited on Al₂O₃(0001) substrate at various temperatures by pulsed laser deposition(PLD). The third of harmonic(355㎚) Nd:YAG laser was used for pulsed laser deposition. X-ray diff^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01331610');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#ZnO thin film #Pulsed Laser Deposition

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