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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 곽문규
- 발행연도
- 2019
- 저작권
- 동국대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수6
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The ultra-precision vibration control technology is required for semiconductor equipment, display manufacturing equipment, nanoscale ultra-precision processing, and inspection equipment. In this study, the active vibration control method using the pneumatic actuator was developed to solve the vibration problem occurring in the resonance frequency band of the ultra-precision machining equipment. Prior to the active vibration control experiments, numerical calculations were carried out to verify the effectiveness of the Virtual Tuned Mass Damper control algorithm for the vibration of the one-degree-of-freedom system. The vibration control effect was confirmed by applying the control algorithm to a system subjected to disturbance. In order to investigate the practical applicability of the proposed active vibration control method, the test bed with a pneumatic actuator was considered and a vibration control experiment was carried out. Experimental results also show that the proposed active vibration control system is effective to suppress the vibration.
목차
제 1 장 서론 11.1 연구배경 11.2 연구현황 141.3 연구목적 및 방향 17제 2 장 제진 시스템 동적 모델 192.1 1자유도계 시스템 동적 모델 192.2 VTMD 제어기 202.3 제어기 검증을 위한 수치 해석 23제 3 장 제진 시스템 구현 323.1 1자유도 제진 시스템 설계 323.2 제진 시스템 대상 수치 해석 343.3 진동 제어 실험 40제 4 장 토의 및 결론 48참 고 문 헌 50부록 A-1 공압을 이용한 능동 제어 동적 모델 수치계산 프로그램 54ABSTRACT 55
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