플라즈마 식각 공정 3종 진단 결과 기반 CycleGAN 예측 모델

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저자정보: 강민지 (한국기계연구원) 장성규 (한국전자기술연구원) 김지훈 (한국전자기술연구원) 김성호 (한국기계연구원) 김창민 (삼성전자) 이효창 (한국항공대학교) 강우석 (한국기계연구원) 최민섭 (충남대학교) 김형근 (한국전자기술연구원) 김형우 (한국기계연구원)

이용수

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