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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2023.11
- 수록면
- 62 - 65 (4page)
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This study aims to propose directions for the re-establishment of FAB cleanliness standards by reviewing and analyzing the cleanliness standards and factors affecting product yield at Samsung FAB based on cleanliness theory.
The cleanliness of the FABs studied was at ISO Class 3.15 (Class 4@0.3) levels, even after accounting for events, and although there were several events over the course of a year, most returned to normal cleanliness within 5-10 minutes. The study found that even if the ACH is reduced from the current level to 10 #/h, the expected FAB cleanliness is still below Class 5 @0.3um. The current ventilation rate (or number of ventilations) in the FAB is considered to be over-spec, and it is estimated that energy savings of more than 75% can be achieved in the service area by improving it through the re-establishment of FAB cleanliness standards.
The cleanliness of the FABs studied was at ISO Class 3.15 (Class 4@0.3) levels, even after accounting for events, and although there were several events over the course of a year, most returned to normal cleanliness within 5-10 minutes. The study found that even if the ACH is reduced from the current level to 10 #/h, the expected FAB cleanliness is still below Class 5 @0.3um. The current ventilation rate (or number of ventilations) in the FAB is considered to be over-spec, and it is estimated that energy savings of more than 75% can be achieved in the service area by improving it through the re-establishment of FAB cleanliness standards.
목차
Abstract
1. 일반사항
2. FAB 청정도 이론
3. DATA 분석을 통한 FAB 청정도 재정립
4. 결론
References
참고문헌 (0)
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