구조 개선을 통한 반도체 검사장비 진동 저감 대책과 실증

이문구 ,  전용호 ,  유승하 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

고속 회전형 모듈 반도체 검사장치의 진동해석 및 분석

김재경 ,  전의식

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

강인 제어를 통한 반도체 검사장비의 정속 구동 제어 기술 개발

이문구

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

반도체 부품 정렬 검사 장치의 구동에 따른 진동 분석

김재경 ,  전의식

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

전달행렬법을 이용하여 지반진동을 받는 반도체 장비의 진동해석

조찬우 ,  이정우 ,  마정범 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2018 .04

A Control Algorithm of Vibration Reduction Mechanism for CFRP Inspection Equipment using Reaction Force Compensation

Chang-hoon Seo ,  Sung- ,  yong Pa 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

위성용 광학 장비 진동시험 및 구조해석 결과 검증

류준석 ,  이행복 ,  윤도희

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2021 .07

대형 회전기기 고진동 점검사례 고찰

김원택

한국에너지학회 학술발표회

2017 .04

스마트 구조 시스템 : 효율적인 진동 모니터링 및 제어

한재흥

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2018 .10

Residual vibration analysis for 3D semiconductor packaging inspection equipment

Sanghwa Min ,  Moon G. Lee ,  Yongho Jeon

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

3세대 반도체 웨이퍼 검사장비 Probe Station 핵심 부품 구조해석

최현진 ,  정용민 ,  서영재

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

A New Paradigm for Future Semiconductor Equipment

Sukwon Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

항공 전자장비 장착구조물의 랜덤진동에 대한 진동안정성 분석

탁아란 ,  이석규

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2019 .10

차량 하부 결함 검사를 위한 차체 진동 감지 센서 시스템 개발

박력 ,  김재열 ,  최병호 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2016 .10

플라스틱 축류팬의 유동현상에 의해 발생되는 진동 특성 분석

박이준 ,  김동현 ,  길현권 외 1명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2019 .11

검사장비 공진 주파수 제어를 위한 구조변경

유승하 ,  민상화 ,  전용호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Analysis for Active Isolation of Vibration of Equipments on Beam Structures

Han-eum Oh ,  Chinsuk Hong ,  Weui-Bong Jeong

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2016 .10

반도체 장비의 시스템 신뢰성 체계 개발 및 적용 연구

안영기 ,  정재성 ,  사윤기

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .02

전자 부품 검사용 광학분석 장비 제어시스템에 대한 연구

이준하

반도체디스플레이기술학회지

2015 .01

가동중검사 초음파검사장비 동등성 검증 방법 고찰

정남두 ,  김창수

한국비파괴검사학회 춘계학술대회 초록집

2023 .05