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서지원 (부산대학교) 김양진 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
199 - 199 (1page)

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파장 주사 간섭계를 이용하여 투명 평판의 두께와 표면 형상 측정 시, 위상 검출의 비선형성으로 인한 오차가 발생하며 적절한 위상 검출 알고리즘을 적용하여 위상 오차를 억제해야 한다. Surrel의 2N-1 알고리즘과 같은 일부 위상 검출 알고리즘들은 위상 구분 수 N에 따라 샘플 수가 결정된다. 이전에 개발한 7N-6 알고리즘과 8N-7 알고리즘과 같이 샘플 수가 많은 알고리즘의 경우, 높은 차수의 비선형 오차를 억제할 수 있지만 샘플링 진폭이 매우 복잡하게 표현된다는 단점이 있다. 높은 오차 보정 능력을 갖는 알고리즘의 보편적인 적용을 위하여 많은 범위로 표현되는 복잡한 형태의 창함수를 단순화할 필요가 있다. 본 연구에서는 특성 다항식이 DFT 알고리즘의 제곱 형태로 이루어진 알고리즘들이 공통적으로 창함수가 종 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10581775');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Gaussian function #Phase error #Phase-shifting algorithm #Wavelength-tuning interferometry #Window function

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