고집적 시스템 반도체용 MEMS 프로브카드의 본딩 공정 개발

최종하; 홍석기; 양시은; 김대호

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저자정보: 최종하 (서울테크노파크) 홍석기 (서울테크노파크) 양시은 (서울테크노파크) 김대호 (서울테크노파크)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2019.5

수록면: 478 - 479 (2page)

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일체형 버티컬 프로브카드 본딩 공정 개발

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고집적 시스템 반도체용 MEMS 프로브카드의 본딩 공정 개발

최종하 , 홍석기 , 양시은 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료

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소속기관 서울테크노파크

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 산업공학

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소속기관 서울테크노파크

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