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학술대회자료
저자정보
박형규 (한경대학교) 최승연 (한경대학교) 장지훈 (한경대학교) 백승재 (한경대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2019년 한국진공학회 (제57회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2019.8
수록면
134 - 134 (1page)

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2020

다공성 금속 샤워헤드가 적용된 상압플라즈마 화학기상증착법을 이용한 저온 다결정 실리콘 증착 공정
박형규 ,  송창훈 ,  오훈정 외 1명 전기전자재료학회논문지 2020.01 학술저널

2019

다공성 금속 샤워헤드를 적용한 상압 플라즈마 화학 기상 증착법에 의한 저온 다결정 실리콘 증착 공정
박형규 ,  송창훈 ,  오훈정 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2019.11 학술대회자료
상압 플라즈마를 이용한 저온 증착 공정
박형규 ,  최승연 ,  장지훈 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2019.08 학술대회자료

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#상압 플라즈마 #AP-PECVD #저온 증착 공정

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