지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.10
- 수록면
- 97 - 101 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
X-선 회절기(X-ray diffractometer)는 시편에서 회절되는 회절빔을 이용하여 재료의 상 (phase), 집합조직 (texture), 격자상수 (lattice constant), 잔류응력 (residual stress) 등 다양한 재료물성을 분석하는 데 광범위하게 사용되는 장치이다. X-선을 이용한 정량적인 분석은 회절빔의 피크 위치를 바탕으로 수행되는 데, 장시간 X-선 회절기를 사용하게 되면 필연적으로 장치 부품에 미세 변형이 발생하게 되고, 이러한 기계적인 오차가 발생하면 정량적인 분석의 정확도가 떨어지게 된다. 본 연구에서는 미국 표준기술연구소 (National Institute of Standards and Technology, NIST)에서 제공된 잔류응력이 없는 Si 파우더를 이용하여 2ɵ를 기준으로 약 30~90도 사이 구간에 대해 X-선 회절 실험을 수행하였고, NIST에서 제공된 회절빔의 피크위치와의 비교를 통하여 X-선 회절기의 계통오차를 파악하였으며, 이러한 오차 교정이 진격자상수 (true lattice constant) 측정 등 정량적인 분석에 미치는 영향을 확인하기 위하여 잔류응력이 존재하는 180 nm 두께의 텅스텐 박막에 대한 X-선 회절분석을 수행하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
[단행본] - B. E. Warren / 1990 / X-ray Diffraction / Dover
[단행본] - B. D. Cullity / 2001 / Elements of X-ray Diffraction / Pearson
[단행본] - C. Suryanarayana / 1998 / X-ray Diffraction:A Practical Approach / Springer
[학술지(정기간행물)] - C.-H. Ma / 2002 / Residual stress measurement in textured thin film by grazing-incidence X-ray diffraction / Thin Solid Films 418 (2) : 73 ~ 78
[학술지(정기간행물)] - Xuejun Zheng / 2004 / X-ray diffraction measurement of residual stress in PZT thin films prepared by pulsed laser deposition / Acta Materialia 52 (11) : 3313 ~ 3322
[단행본] - B. D. Cullity / 2001 / Elements of X-ray Diffraction / Pearson
[단행본] - C. Suryanarayana / 1998 / X-ray Diffraction:A Practical Approach / Springer
[학술지(정기간행물)] - C.-H. Ma / 2002 / Residual stress measurement in textured thin film by grazing-incidence X-ray diffraction / Thin Solid Films 418 (2) : 73 ~ 78
[학술지(정기간행물)] - Xuejun Zheng / 2004 / X-ray diffraction measurement of residual stress in PZT thin films prepared by pulsed laser deposition / Acta Materialia 52 (11) : 3313 ~ 3322
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
X-ray 회절장치의 기계적 오차 수정
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
-
X-ray 회절기의 계통오차 수정을 통한 측정 정확도 향상
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
3 차원 회절 모델을 반영한 5G-V2X 성능 분석
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .06
-
TEM 회절패턴 자동해석 프로그램(REDI, RIST Electron Diffraction Interpreter)
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2021 .11
-
X-선 회절 정량분석을 통한 슬래그의 수화반응 분석
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2019 .10
-
회절과 감쇠를 고려한 두꺼운 고체 시편의 비선형 파라미터 측정
비파괴검사학회지
2017 .08
-
Unconventional Lithographic Approach for Seamless Integration of Multiple Gratings on Azo-polymeric Films
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2021 .04
-
Europium이 첨가된 NaSr(PO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>형광체의 형광특성
한국방사선학회 논문지
2019 .01
-
ISO 21432에 따른 중성자 회절에 의한 잔류응력 결정
한국비파괴검사학회 춘계학술대회 초록집
2022 .05
-
열중량 분석 및 X-선 회절을 활용한 건설재료 분석법
콘크리트학회지
2019 .05
-
X-선 회절 및 변형률 게이지를 이용한 고강도강 판재의 응력 추정
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2024 .10
-
X선 회절분석을 통한 알루미나 시멘트의 정량분석
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2017 .11
-
X-선 회절 정량분석을 통한 클링커의 광물학적 특성 분석
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2021 .11
-
Tb<sup>3+</sup> 이온이 첨가된 NaCa(PO<sub>3</sub>)<sub>3</sub> 형광체의 형광특성
한국방사선학회 논문지
2018 .01
-
X선 회절분석을 통한 알루미나 시멘트 내 클링커 조성의 정량분석
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2017 .05
-
레이트레이싱 기반 회절을 이용한 가상 환경에서의 효율적인 사운드 제어 기법
한국컴퓨터정보학회논문지
2022 .11
-
유형별 문화재 시료의 비파괴 표면 X-선 회절분석법 적용과 해석 가능성
한국광물학회지
2019 .01
-
X선 cos α법을 이용한 표면 개질화된 Al 6061 합금의 잔류응력 측정 및 평가
비파괴검사학회지
2022 .04
-
가상 환경에서 사운드의 반사와 회절을 이용한 실시간 소리 제어 방법
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2021 .01
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001395792