Development of a novel variable conductance vacuum valve

양태헌; 송한욱; 우삼용

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 양태헌 (한국표준과학연구원) 송한욱 (한국표준과학연구원) 우삼용 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.2

수록면: 116 - 116 (1page)

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