지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
TiO₂, Al₂O₃, and TiO₂-Al₂O₃ nanolaminated films were grown by atomic layer deposition (ALD) on the 316L stainless steel (SS316L) substrates at a temperature of 150 °C. The growth kinetics of ALD-TiO₂ and Al₂O₃ thin films were systematically investigated in order to precisely control the thickness of each layers in the TiO₂-Al₂O3 nanolaminated films using a high-resolution transmission electron microscopy. And, the exact deposition rates of ALD-TiO₂ on Al₂O₃ surface and ALD-Al₂O₃ on TiO₂ surface were revealed to be 0.0284 nm/cycle and 0.11 nm/cycle, respectively. At given growth conditions, the microstructures of TiO₂, Al₂O₃ and TiO₂-Al₂O₃ nanolaminated films were amorphous. The potentiodynamic polarization test revealed that the TiO2-Al2O3 nanolaminated film coated SS316L had a best corrosion resistance, although all ALDcoated SS316L exhibited a clear improvement of the corrosion resistance compared with a bare SS316L.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (21)
참고문헌 신청
U.R.Evans, Electrochemical mechanism of atmospheric rusting, Nature 206 (1965) 980-982.
C.X.Shan, X.Hou, and K.L.Choy, Corrosion resistance of TiO2 films grown on stainless steel by atomic layer deposition, Surf. Coat. Technol 202 (2008) 2399-2402.
M.Atik, P.Delimaneto, M.A.Aegerter, and L.A.Avaca, Sol-gel TiO2-SiO2 films as protective coatings against corrosion of 316L stainless steel in H2SO4 solutions, J. Appl. Electrochem 25 (1995) 142-148.
S.E.Potts, L.Schmalz, M.Fenker, B.Diaz, J.?wiatowska, V.Maurice, A.Seyeux, P.Marcus, G.Radn?czi, L.T?th, and W.M.M.Kessel, Ultra-Thin aluminium oxide films deposited by plasmaenhanced atomic layer deposition for corrosion protection, J. Electrochem. Soc 158 (2011) C132- C138.
R.Hofman, J.G.F.Westheim, I.Pouwwel, T.Fransen, and P.J.Gellings, FTIR and XPS studies on corrosion-resistant SiO2 coatings as a function of the humidity during deposition, Surf. Interface Anal 24 (1996) 1-6.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
저온에서 원자층 증착법으로 제작된 Al₂O₃, TiO₂ 박막의 특성 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
-
Thermal Cycling Test for Eco-friendly PTC Thermistor in Ba0.97(Bi0.5Na0.5)0.03TiO₃ System
한국신뢰성학회 학술대회논문집
2015 .05
-
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
Al2O3-TiO2 nanolaminate gate dielectric layers with enhanced electrical performance for organic field-effect transistors
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .10
-
플라즈마 용사된 Al2O3-TiO2 코팅의 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2017 .12
-
Al₂O₃ 기반의 고성능 TiO₂ 담체 분말의 미세구조 특성
한국콘크리트학회 학술대회 논문집
2016 .11
-
Highly Improvement Performance of Ru/TiO₂-ZrO₂-TiO₂/Ru Metal-insulator-metal Capacitors by Formation of Rutile-TiO₂ with High Crystallinity Using Atomic Layer Annealing
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
기능성 Al₂O₃-TiO₂ 담체 분말을 혼입한 모르타르의 역학적 특성
대한건축학회 학술발표대회 논문집
2017 .10
-
TiO₂-Al₂O₃ 적층 구조 적용을 통한 역 전기습윤 에너지 수확기술 성능 향상 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
-
플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
-
Urea/TiO₂ 비율에 따라 제조된 N-doped TiO₂의 ORR 반응특성
한국에너지학회 학술발표회
2017 .09
-
Effects of TiO₂ thickness on the properties of photo-activated gas sensors in porous SnO₂@TiO₂ heterostructure fabricated by gas-flow thermal evaporation and Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
-
Effects of porosity and TiO2 thickness on the photo-activated gas sensor properties in porous SnO₂/TiO₂ heterostructure fabricated by gas flow thermal evaporation and Atomic Layer Deposition.
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
-
벌크 TiO2 산소 공공 결함에 대한 이론적 이해
전기전자재료학회논문지
2024 .05
-
Interfacial Band-Edge Engineered TiO2 Protection Layer on Cu2O Photocathodes for Efficient Water Reduction Reaction
Electronic Materials Letters
2017 .01
-
이종 접합 구조를 갖는 TiO2/WO3 이중 박막의 광유기 친수 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
TiO₂ ALD 를 통한 PEMFC 의 내구성 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .04
-
이산화 티타늄 위에서의 원자층 증착법 백금의 성장 특성
한국표면공학회지
2015 .04
-
Spinel 화합물을 도핑한 TiO2의 제조 및 가시광선 하에서의 광촉매 활성 평가-I
한국수처리학회지
2016 .01
-
TiO₂ 함량에 따르는 무전해 Ni-P-TiO₂ 복합도금층 특성 연구
한국표면공학회지
2019 .08
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
원자층 증착법에 의한 Al₂O₃ 박막 형성에 따른 모스아이 구조 반사방지 필름의 기계적 물성에 미치는 영향
윤은영
,
이우재
,
장경수
외 3명
한국표면공학회지
2015
.04
원자층 증착법을 통한 양극 활물질용 LTO 표면코팅층 제작
김민지
,
김선민
,
구미주
외 1명
대한기계학회 춘추학술대회
2023
.04
원자층 증착법으로 제작된 ZnO 박막에 전기적, 광학적 특성 연구
금미진
,
김수연
,
이승훈
외 3명
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2023
.07
저온에서 원자층 증착법으로 제작된 HfO₂ 박막의 특성 연구
김수연
,
이승훈
,
조인호
외 1명
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2023
.07
원자층 증착법을 이용한 Y₂O₃, Al₂O₃ 박막의 물리적 특성 연구
권창
,
지영연
,
박인래
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2023
.05
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2017-581-002303810