LED 웨이퍼 JIG 제작을 위한 진공척 고정을 적용한 표준 시스템 개발

이재복 ,  이가람 ,  김재규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

웨이퍼 클리닝 및 표면검사 자동화 장비 개발

강진수 ,  이창용 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .06

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

진공 챔버에서 사용되는 이송 로봇의 웨이퍼 슬립 보상을 위한 웨이퍼 슬립 측정 방법

정명진

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2023 .06

진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발

권소영 ,  김영형 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .12

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

진공 이송 로봇에서 발생하는 웨이퍼 슬립 측정 및 보정에 대한 연구

정명진

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

반도체 웨이퍼 진공 스테이지용 알루미나(Al₂O₃)의 연삭 특성에 관한 연구

이승용 ,  박세진

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .11

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

An optimization model based on flexible lead times for semiconductor wafer fabrication

Sungwon Hong ,  Younsoo Lee ,  Kungsik Lee

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

머신 러닝 모델을 활용한 웨이퍼 불량 탐지 및 테스트 항목 효율화

김호영 ,  강필성

대한산업공학회지

2022 .12

혼류 공정을 위한 반도체 제조 장비 내 웨이퍼 투입 순서 결정

김홍연 ,  이준호 ,  김현정

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2023 .11

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05