FPCB 미세 패터닝 장비용 UV레이저 헤드의 반력 보상 모듈 개발

이문구; 홍민성; 서창훈; 홍성택

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이문구 (아주대학교) 홍민성 (아주대학교) 서창훈 (아주대학교) 홍성택 (아주대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 한국생산제조시스템학회 춘계학술대회 -생산제조대연합-

발행연도: 2015.4

수록면: 268 - 268 (1page)

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