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저자정보
하승범 (서울대학교) 장익황 (서울대학교) 이윤호 (서울대학교) 차석원
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
1,889 - 1,894 (6page)

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In this study, various thin-film fabrication processes have been studied for manufacturing of Fuel Cell using BYZ(yttrium-doped barium zirconate) electrolyte. The fuel cell structure is Anode supported type, and Palladium foil and sputtered porous Platinum are for Anode electrode. BYZ electrolyte is deposited by PLD(Pulsed Laser Deposition) and porous Platinum is deposited for cathode by sputter. Palladium is deposited by ALD(Atomic Layer Deposition) between BYZ electrolyte and cathode to protect carbonation of BYZ. To get a good quality of each layer such as porous Pt electrode, Pd interlayer and BYZ electrolyte, deposition conditions of PLD, Sputter and ALD have been optimized.
#ALD #BYZ #low-temperature-fuelcell #PLD #Sputtering #Thin-film deposition

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4 결론
참고문헌

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