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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.15 No.3
발행연도
2006.6
수록면
111 - 119 (9page)

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The ultra-precision stage is demanded for some industrial fields such as semiconductor lithography, ultra-precision machining, and fabrication of nano structure. A new stage was developed for those applications in order to obtain nano meter resolution. This stage consists of symmetric double parallelogram mechanism using flexure hinges. The mechanical properties such as strength of the flexures and deformations along the applied force were analyzed using FEM. The stage is actuated by a piezoelectric actuator and its movement was measured by a ultra-precision linear encoder. In order to improve positioning performance, a PID controller was designed based on the identified second order transfer function. Experimental results showed that this stage could be positioned within below 5 ㎚ resolution irrespective of hysteresis and creep by the controller.
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Scanning Tunneling Microscope(주사형터널 현미경) #Ultra-precision stage(초정밀 스테이지) #Flexure hinge(탄성 힌지) #PID controller(PID 제어기) #FEM(Finite Element Method)(유한 요소 해석) #Piezoelectric actuator(압전소자 구동기) #Ultra-precision linear encoder(초정밀 리니어 엔코더)

목차

Abstract
1. 서론
2. 초정밀 스테이지 설계 및 해석
3. 시스템 구성 및 제어
4. 결론
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