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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
대한설비공학회 설비공학논문집 설비공학논문집 제14권 제5호
발행연도
2002.5
수록면
424 - 433 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (8)

2005

원판 지름에 따른 가열 회전 원판으로의 입자침착 특성 변화 해석
유경훈 ,  송근수 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2005.06 학술대회자료

2002

정전효과가 있는 가열 회전원판으로의 입자침착 해석
유경훈 설비공학논문집 2002.05 학술저널
가열되는 회전원판으로의 입자침착 해석 ( Analysis on Particle Deposition on a Heated Rotating Disk )
유경훈 대한기계학회 논문집 B권 2002.02 학술저널

2001

정전효과가 있는 가열 회전원판으로의 입자침착 수치해석
유경훈 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2001.07 학술대회자료

1999

가열되는 회전원판으로의 입자침착 수치해석 ( Numerical Analysis of Particle Deposition onto a Heated , rotating Disk )
유경훈 대한기계학회 춘추학술대회 1999.01 학술대회자료

1997

정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis on Particle Deposition onto Heated , Horizontal Freestanding Wafer with Electrostatic Effect )
유경훈 ,  오명도 ,  명현국 대한기계학회 논문집 B권 1997.10 학술저널

1995

가열 또는 냉각되는 수평웨이퍼 표면으로의 입자침착에 관한 해석 ( Analysis of Particle Deposition onto a Heated or Cooled , Horizontal Free-Standing Wafer Surface )
유경훈 ,  오명도 ,  명현국 대한기계학회 논문집 1995.05 학술저널
정전효과가 있는 가열 수평웨이퍼로의 입자침착 수치해석 ( Numerical Analysis of Particle Deposition onto a Heated , Horizontal Free-Standing Wafer with Electrostatic Effect )
유경훈 ,  오명도 ,  명현국 대한기계학회 춘추학술대회 1995.01 학술대회자료

초록· 키워드

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Numerical analysis has been conducted to characterize deposition rates of aerosol particles onto a heated, rotating disk with electrostatic effect under the laminar flow field. The particle transport mechanisms considered were convection, Brownian diffusion, gravitational settling, thermophoresis and electrophoresis. The aerosol particles were assumed to have a Boltzmann charge distribution. The electric potential distribution needed to calculate local electric fields around the disk was calculated from the Laplace equation. The Coulomb, the image, the dielectrophoretic and the dipole-dipole forces acting on a charged particle near the conducting rotating disk were included in the analysis. The averaged particle deposition velocities and their radial distributions on the upper surface of the disk were calculated from the particle concentration equation in a Eulerian frame of reference, along with a rotation speed of 0~1,000rpm, a temperature difference of 0~5 K and a charged disk voltage of 0~1,000V. Finally, an approximate deposition velocity model for the rotating disk was suggested. The present numerical results showed relatively good agreement with the results of the present approximate model and the available experimental data.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 수치해석방법

3. 결과 및 검토

4. 결론

참고문헌

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