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2000 .09
테마기획1 : 참단가공기술
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테마기획 반도체 장비 : 반도체 장비 산업 현황 및 전망
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2000 .09
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[테마기획] 테마기획을 내면서
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테마기획3 : 레이저빔 응용 가공기술
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테마특집 - 반도체 산업
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반도체의 특성과 가공기술
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테마기획2 : 미세방전가공 기술의 동향
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1997 .12
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1997 .12
기획특집-반도체장비의 개발생산 및 육성방안
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1991 .01
[테마기획 - 초미세공정 장비 기술] 나노 임프린팅 장비 기술
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[테마기획 - Micro-factory] 미세 방전/전해 가공 및 장치
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CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
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2015 .12
[테마기획 - 초미세공정 장비 기술] 전자선 가공(리소그라피)장비의 개발 현황
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2004 .12
[테마기획] 기계적 미세 형상 금형가공 기술
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반도체 재료 및 소자의 가공기술
대한기계학회지
1988 .12
지상 공개 강좌-광학소자 가공방법(연마 편)-CMP와 그 응용
광학세계
2008 .01
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