Convective Heat Transfer and Flow Stability in Rotating Disk CVD Reactors

William S. Winte ,  s ,  G 외 3명

Heat Transfer Conference

1998 .08

Numerical Study on Silicon CVD in Horizontal Reactors

U. Na ,  usawa

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 열 및 물질 전달 특성 연구

차관 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .09

Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석

장연호 ,  고동국 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

CVD 반응기내 기체유동의 균일성 향상에 관한 수치적 연구

김유재 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

TRANSPORT PHENOMENA IN A HORIZONTAL COLD-WALL CVD REACTOR

Ken ichi ,  o Tanoue ,  Tsuneyuki Sato 외 1명

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1996 .10

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

Numerical Analysis of Heat and Mass Transfer in a Calandria Based Reactor

Ravind ,  a S Tupake ,  PS Kulka 외 2명

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2003 .10

Thermal CVD 반응기 내부의 열 유동장에 대한 수치해석적 연구

김윤호 ,  이영석 ,  리광훈

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 유동 특성 연구 ( A Study on the Flow Characteristics over the Rotating Susceptor in CVD Reactor )

차관 ,  김윤제 ,  부진효

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

대구경 회전 증착에 관한 CVD 반응기 내부의 열물질 해석연구

이성봉 ,  장혁 ,  김광선 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2000 .06

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

수평 CVD 반응기에서의 3 차원 혼합대류 열전달 특성 ( Three - Dimensional Mixed Convection Heat Transfer Characteristics in Horizontal Chemical Vapor Deposition Reactor )

오성진 ,  박경우 ,  김기문 외 1명

대한기계학회 논문집 B권

1998 .05

수평 CVD 반응기에서의 3차원 혼합대류 열전달 특성 ( Three-Dimensional Mixed Convection Heat Transfer Characteristics in Horizontal Chemical Vapor Deposition Reactor )

오성진 ,  박경우 ,  박희용

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

CVD 다이아몬드 박막 기판의 방열 특성

임종환 ,  강찬형

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

RT-CVD 장비 내부의 지그 신뢰성 평가를 위한 열 전도 해석

정명희 ,  홍경표 ,  김예경 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04

A STUDY ON THE ANALOGY BETWEEN HEAT TRANSFER AND MASS TRANSFER

Seong-Yeon YOO ,  Chang-Hwan CHUNG ,  Moon-Ki CHUNG

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1992 .10

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07